包装规格
钢瓶规格 | 含量 | |
钢瓶容量 | 阀门 | 重量 |
47L | DISS632 | 10kg |
440L | DISS632 | 120kg |
电子级硅烷99.9999%
规格 | 99.9999% |
一氧化碳 | ≤ 0.05 ppm |
二氧化碳 | ≤ 0.05 ppm |
总氯化物 | ≤ 0.1 ppm |
甲烷 | ≤ 0.05 ppm |
C2-C4 | ≤ 0.1 ppm |
氮气 | ≤ 0.5 ppm |
氧气 | ≤ 0.05 ppm |
水分 | ≤ 0.1 ppm |
硅基乙醚 | ≤ 0.1 ppm |
甲基硅烷 | ≤ 0.1 ppm |
乙硅烷 | ≤ 0.3 ppm |
氢气 | ≤ 20 ppm |
铝 | ≤ 0.02 ppba |
锑 | ≤ 0.02 ppba |
砷 | ≤ 0.02 ppba |
镓 | ≤ 0.02 ppba |
硼 | ≤ 0.02 ppba |
磷 | ≤ 0.02 ppba |
铁+铬+镍+铜+锌 | ≤ 1 ppba |
